二手 IMS / NANOTECH 13666-LIME BUSTER XL #9294969 待售

IMS/NANOTECH 13666-LIME BUSTER XL是一种最先进的晶圆测试和计量设备，设计用于测量电气参数、工艺光刻、测试和计量。它非常适合跨越各种元件制造过程的1级应用程序。IMS 13666-LIME BUSTER XL系统使用可编程电子数字信号处理器（DSP）接收和处理扫描样品,用于图像分析和过程控制。它包括一个高清数字数据采集单元，允许获取高达1200万像素的图像。这种高分辨率允许根据实验数据优化图形。该机还具有2D/3D光学模块和ArF激光图样,能够产生高分辨率和精确的轮廓测量,包括电气测试数据、厚度测量、临界尺寸（CD）测量精度、反射率、门轮廓和掩模对准精度。NANOTECH 13666-LIME BUSTER XL还包括晶圆扫描仪和晶圆处理程序，其设计目的是提供一个标准的自动化接口，用于在工具上处理和运输晶圆。该资产能够连接到广泛的制造工艺系统,从而实现测试和计量的完全集成。13666-LIME BUSTER XL还能够编程一个广泛的复杂电气测试库,从而允许广泛的晶圆测试应用程序。此外,它还提供驱动程序/电源解决方桉、高电流和低电流载波测试、自动库组件以及一整套操作功能。该模型还具有高度的用户配置能力,可用于各种应用程序。IMS/NANOTECH 13666-LIME BUSTER XL还提供了先进的高性能测量引擎，允许高速精确测量和分析。该设备具有高精度、快速吞吐量和前所未有的易用性,可用于生产流程的总体控制。IMS 13666-LIME BUSTER XL的设计旨在对1级生产环境中的电气参数、工艺光刻、测试和计量进行可靠、准确和高分辨率的测量。对于需要对组件、基板、工艺测量、光刻、计量等进行可靠、准确和高分辨率测试的组织来说,它是一个理想的解决方桉。