二手 IMS / NANOTECH LVIS-3+ #9314421 待售

IMS/NANOTECH LVIS-3+晶片测试和计量设备是一种先进且高度精确的仪器，用于表征和加快半导体晶片基板的评估。该系统采用激光扫描、光学计量和电压测量技术的新颖组合，提供地形和电气中晶圆性质的详细无损映射。IMS LVIS-3+设计用于测试晶片和表征晶片的各种应用,例如制造微电子器件、微系统和传感器。具体而言，该单元旨在分析光刻、氧化、扩散、沉积和蚀刻等过程以及结构缺陷和污染。该机适用于包括III-V半导体、绝缘体上硅（SOI）、氮化硅、铝等沉积蚀刻结构等多种材料。NANOTECH LVIS-3+采用高分辨率激光扫描显微镜（LSM）,能够测量表面地形和电性能,空间分辨率为0.07 µm。它能够表征各种过程和参数，包括接触面积、空隙、晶粒大小、表面污染和均匀性。该工具配有高分辨率白光干涉仪，用于测量步高和检查薄膜厚度。资产还与电压探针和电压监视器集成在一起，允许测量电路、接触电阻和监测电流泄漏或短路。LVIS-3+效率高,能够同时检查多达15个站点。此外,该模型的设计考虑了自动吞吐量,并提供了多种自动分析和编辑功能。这样可以更快、更全面地评估晶圆特性。此外,该设备还为编程和操作系统提供了直观的图形用户界面,使经验丰富和经验不足的用户能够轻松设置和使用。综上所述，IMS/NANOTECH LVIS-3+是一个功能强大且精密的晶片测试和计量单元，旨在为晶片基板提供可靠和全面的表征。它能够对薄膜厚度、地形和电性能进行高精度和高效率的评估。用户友好和自动化的功能使其适合经验丰富和经验不足的用户。