二手 INSPECTROLOGY IVS-165 #9390277 待售

INSPECTROLOGY IVS-165是一种晶圆测试和计量设备,旨在为先进的半导体技术提供精确、高通量的测量。该系统采用模块化的无损检测方法，能够提供精确的检测结果，且样品损坏最小。该晶片测试和检验装置采用了XY/ Θ级专利设计，结合了先进的光学和先进的图像处理技术。通过XY/ Θ级和空气轴承定位技术相结合，实现了高精度的四轴晶圆运动。当与物镜和照明源结合使用时，它可以测量样品特征的宽度、高度和深度，精度高达1.5 μ m。此外,高速运动允许每秒最多1,000个成像周期,以快速测量IC元件。IVS-165机器能够检查不同类型的半导体晶片，如SOI和MEMS。适合晶圆映射、晶圆缺陷分析、产品质量保证等应用。当用于MEMS设备的表征时,该工具能够测量和分析分辨率高达1 μ m的各个层及其特征。它还能够成像和分析结构,如线宽、接触孔、对齐标记,甚至高达1.5 μ m的3D结构。对于错误和过程监测，资产能够检测到微小的缺陷，包括高达一半微米的点蚀和空隙。INSPECTROLOGY IVS-165模型附带了一整套方便图像分析和故障监控的软件工具。软件套件允许用户访问实时测量、可靠的报告和测试后数据分析。这些工具可以执行自动缺陷表征、图像比较和故障识别。此外,该软件还具有批处理、质量控制报告和特定测量分析等功能。IVS-165是一种高度通用和可靠的晶圆测试和计量设备，旨在满足半导体制造的需求。该系统具有强大的成像和运动能力,能够提供快速、准确的测量,且样品损坏小。捆绑的软件工具使其成为缺陷测试、过程监控和产品质量保证的理想平台。