二手 JMAR Mirage #140281 待售

JMAR Mirage是一种晶圆测试和计量设备，有助于改善半导体的生产。该系统由各种组件组成，这些组件协同工作以促进半导体的高效测试和计量。该单元包括先进的光学器件，如远程中心成像光学器件，用于样品成像以及从深紫外线到近红外的全光谱覆盖。高分辨率3轴级用于样品的精确对准和扫描。样品用可见光和红外光照明，反射信号用CCD成像检测器捕获。CCD探测器还提供热成像功能,可以进行更精确的计量测量。在计量方面，Mirage配备了集光学和机械技术于一体的先进3D扫描仪，以捕捉对半导体地形和微观特征的快速准确的测量。高级扫描仪可精确捕捉特征形状和动态,包括特征高度、平面度和特征大小。该机还配备了Nano Intution TM软件，用于准确检测和测量地下缺陷和杂质。JMAR Mirage还具有大量的测量功能,包括迭加和对齐、CD和SEM缺陷测量、薄膜厚度和应力评估、特征均匀性、经度和岩性标线。该工具还具有许多分析功能,如交互式模式识别、自动缺陷分类和生命周期管理。总体而言，Mirage是一种高效的晶圆测试和计量资产，可以帮助半导体制造商提高产量和提高质量。该模型提供高光学分辨率、快速采集速度以及一套通用的测量和分析工具。