二手 KEITHLEY 6220 #9111566 待售

KEITHLEY 6220是一种高性能的晶圆测试和计量设备，设计用于提供设备晶圆的精确测量。该系统具有高精度、自动化的晶片处理程序，允许精确和可重复的晶片定位。它配备了完全可编程的自动舞台运动，提供快速精确的晶圆放置和工具定位。该单元有一个集成的计量包，用于精确测量晶圆。计量包包括高分辨率光学显微镜、激光干涉仪，以及一系列用于精确晶圆运动和扫描能力的光学讲台。测量功能包括高度、宽度、孔直径和侧壁角度的轮廓测量,以及反射指数和线宽测量。6220晶圆测试和计量机可以配置为使用各种工艺技术运行，包括热工艺、外延生长、离子植入、化学蚀刻、光刻、介电沉积和间隔物制造。该工具包括一个综合控制控制台以及测试和敏感测量仪器，为过程控制和生产产量提高提供测试和计量数据收集。控制台还设有一个全面的TEK-CARE数据库，允许用户存储和比较测试和计量数据。该资产包括一个温度监视器，可以设置该监视器以提供晶圆测试和计量过程中温度变化的反馈。此外，该模型还具有进行原位光谱分析的能力，使光谱技术能够测量集成电路的光学特性。最后，在KEITHLEY 6220晶圆测试和计量设备上进行的测试是可重复和可靠的。该系统采用内置校准单元设计，确保了数据的准确性和可重复性。这使机器能够向用户提供准确的测量。它还确保可以快速识别和纠正任何错误或波动,从而提高工具的整体性能。