二手 KEYENCE LK-011 #9178517 待售

KEYENCE LK-011
ID: 9178517
Laser displacement sensors.
KEYENCE LK-011是市场上最先进的晶圆测试和计量系统之一。它旨在对各种半导体晶圆表面进行精确可靠的测试和测量。该设备将一系列复杂的检查和计量工具集成到一个执行各种测量任务的高效系统中。LK-011有一个具有两个光源的高分辨率光学显微镜:低晶粒分辨率的LED灯和高晶粒分辨率的高性能LED。显微镜可以观察到高达100倍放大倍率的样品,这意味着该单元可以提供晶圆表面的高度详细的图像。机器使用先进的成像技术来识别任何不规则性、缺陷或意想不到的特性。该工具还具有提供高度精确测量的双轴激光计量工具。它使用两个沿着两个独立轴行进的激光束。该设备能够检测晶圆表面任何特征的高度、宽度和深度,以及测量粒径和其他参数。该资产提供分辨率为1 nm的极其精确的测量。KEYENCE LK-011还包括一个集成的聚焦监视器,可持续确保晶圆表面始终处于锐焦点。焦点监视器采用自动对焦模型,自动将焦点调整到最佳位置。该设备还有一个自动缺陷检测系统,能够识别人眼看不见的小缺陷和不规则性。该单元还配备了数据分析工具,可以比较多种测量与用户定义的规则和要求。然后可以将结果存储在机器的数据库中,并用于质量控制和可追踪性目的。还可以导出数据以进行其他分析和故障排除。总体而言,LK-011是半导体制造商使用的功能极其强大且先进的晶圆测试和计量解决方桉。它提供了可靠和精确的测量,以确保半导体晶片尽可能高的质量。通过简化整个测试和计量过程,该工具有助于降低成本和提高生产率。
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