二手 KIC 2000 #9360988 待售

KIC 2000是一种晶圆测试和计量设备，为半导体晶圆生产过程提供晶圆测试和计量能力。它基于扫描电子显微镜（SEM）和光学显微镜对重掺杂和化学纹理晶片进行过程控制。该系统的特点是同时采集和同时分析临界尺寸和特性，如薄膜厚度、表面地形和缺陷检查。该装置还具有图像缝合能力，可以控制制造后晶圆的变形。该机器适用于诸如硅绝缘体（SOI）和阵列晶圆级封装（AWLP）系列等技术。2000工具采用蔡司Auriga SEM和配有Kla-Tencor专有的高分辨率缺陷检测（HRDI）技术的光学显微镜。这项技术在不到60秒的时间内提供晶圆缺陷的自动扫描、检测和分类。高分辨率SEM最大程度地减少了来自边缘效应的信号干扰,并允许从1 µm到3mm的任何测量都具有高精度。光学显微镜具有固态分析平台，内置了CD、DTA、SSP等多种应用的功能。CD读出资产支持从0.1µm到>3mm的分辨率。KIC 2000还具有Kla-Tencor的SemiVision软件,用于优化测试配置和模式,以及轻松集成现有晶圆级流程。软件可以从获取的测试数据监视、预测和诊断晶圆级的缺陷。此外,它还允许实时查看来自光学和SEM的同时数据。它还提供晶圆扭曲和边缘轮廓度量的自动数据收集和分析,以及特征覆盖范围,以及自动Z轴测量和缝合。该软件采用符合行业标准的智能编程界面、用户友好界面和精确的SPC数据打印方式构建。综上所述，2000是一个全面的晶圆测试和计量模型，为半导体行业的各种应用提供自动化的2D检测、3D计量和图像缝合能力。它配备了HRDI技术，用于更快的SEM图像传输和更高分辨率的图像。此外，该设备还与SEMVision集成在一起，以优化测试模式和方便地集成现有的晶圆级工艺。