二手 KLA / FILMETRICS F20 #293665953 待售

KLA/FILMETRICS F 20是一种晶圆测试和计量设备,为低（100-200 nm）和高（1-20um）横向分辨率SIR和厚度计量应用提供全面的一站式测量。该系统采用全自动、非接触式光学设计,以最小的操作员输入提供快速、准确的结果,并且无需用户校准。该单位基于光栅的自动对焦和舞台扫描技术，加上其广泛的应用程序库和自动化数据分析例程，允许实时自动检查、分类和分类。这使市场上的准确性和可重复性达到最高水平,并消除了手动解释和调整。KLA F 20包括用于测量特征大小、粗糙度、层压、地形、蚀刻速率等的数据分析例程库。它还提供故障模式和严重性级别的自动分类。除了收集晶片的生命统计数据外，机器还可以定制以捕获各种其他参数，直至包括分层和光阻特性分析。FILMETRICS F20经认证可用于薄膜沉积、掩模制作、光刻、蚀刻、电镀、金属化、晶片清洗等半导体和光电应用。它支持包括Si、Ge、Al、InGaAs和GaN在内的标准基板。该工具可以配备各种检测头和镜头，以适应客户的计量需求。F20直观的用户界面通过其全面的菜单提供了轻松的导航，使用户能够快速设置其测试所需的参数。该资产提供各种可视化工具,允许用户实时修改设置和查看结果。此外,它的高级数据处理功能允许用户快速将结果导出到Excel以进行进一步分析。该模型还提供了一整套诊断和追踪功能。它的故障排除工具使用户能够快速诊断问题并进行故障排除,而其可追踪性功能使用户可以跟踪部件、运行和结果。最后，该设备设计方便，操作要求最低限度。总体而言,KLA/FILMETRICS F 20系统是晶圆测试和计量的一个非常有用的工具,它提供全面、自动化和准确的测量,从而改进生产和检查过程。通过将其直观的操作和可视化功能、快速的结果、准确的测量和可追踪性功能相结合,本单元提供了满足苛刻晶圆测试需求的完整解决方桉。