二手 KLA / FILMETRICS Profilm 3D #293659647 待售

KLA / FILMETRICS Profilm 3D
ID: 293659647
Thickness measurement system.
KLA/FILMETRICS Profilm 3D是晶圆测试和计量的最新解决方桉。它使用先进的技术来测量表面拓扑和材料组成在生产过程后如光刻和蚀刻。该技术提供了更好的产量监控和工艺优化,确保了更高的半导体可靠性和越来越经济高效的生产。KLA Profilm 3D配备了几个激光传感器,可以捕获多达四个维度,使其能够分析一系列表面、高度和轮廓特征。其先进的覆盖和聚焦系统提供了不到一纳米的精确测量-允许晶圆结构和组成的微小变化实时捕获。FILMETRICS Profilm 3D支持多种数据采集系统,适用于各种晶圆尺寸和材料。它可以测量粗糙和光滑的曲面,以及透明、弯曲或扩散的曲面。该设备还提供完整的晶圆管理和报告功能,允许用户随时间监测结果并轻松比较不同的数据集。该系统旨在保持清洁环境和保持高产。其整合式洁净室设备包括真空装置、无尘室和防止外部来源污染的气体隔离机。此外,Profilm 3D还包含一个实时过程控制工具,该工具可以调整温度、压力和曝光等参数以确保最佳屈服。此外,KLA/FILMETRICS Profilm 3D可用于自动化和手动环境。其直观的界面使其易于使用,让新技术的经验丰富的操作员和操作员迅速熟悉其功能。综上所述,KLA Profilm 3D资产是晶圆测试和计量的先进平台。它能够以极高的精度测量表面纹理和组成,并提供工艺优化以确保可靠的产量。集成的清洁室技术和实时过程控制确保了模型始终处于最佳状态,而直观的界面使其易于使用。
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