二手 KLA / TENCOR 0266951-001AA #9401899 待售

ID: 9401899
优质的: 2012
System 2012 vintage.
KLA/TENCOR 0266951-001AA晶圆测试和计量设备是一个高度先进的系统,旨在提供纳米级和更快的可重复、高精度的测量。该单元结合了一系列硬件、软件和校准工具,以晶圆形式提供集成电路的详细表面和外部材料分析。机器的硬件部分由一个可一次装载多达五个晶片的活动晶片级、一个自动对准工具以及一个集成尺寸测量仪器(显微镜)和双数码摄像机组成。软件部分包括图像采集模块、集成图像分析模块和自动报告生成器。自动对准资产包括一个真空拾取工具和一个电动样品支架,可协同工作,以确保晶片和载入晶片级的任何其他物体的精确、可重复定位。显微镜使操作员能够在极近距离检查设备,分辨率高达40X,以了解表面缺陷和其他异常。双数码摄像机使操作员能够查看高达1000X的图像。图像采集模块获取多种格式的图像,包括单色、RGB、YUV和其他几种格式,并允许操作员设置和调整增益、亮度和偏移值。图像分析模块测量设备尺寸、形状和位置,并计算任何缺陷。自动报告生成器在与Excel兼容的报告中收集、汇总和编译数据。KLA 0266951-001AA专为最严格的测量而设计,能够测量到纳米级,每个晶圆可达2000万个或更多点,并且具有2西格玛可重复性精度。该模型是对晶圆形式的IC和其他设备进行质量控制和分析的有力和可靠的工具,使其成为任何制造商或研究设施的宝贵资产。
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