二手 KLA / TENCOR 10-02000 #9248699 待售

KLA/TENCOR 10-02000是一种晶圆测试和计量设备,可快速、可靠、准确地检测半导体晶圆中的缺陷。该系统利用先进的技术提供卓越的成像、分析和晶圆过程监控能力。该单元利用先进的成像和分析技术来检测和分析任意形状,集成大型阵列数据库,创建和评估比较分析,并对各种结构（如线条特征和3D结构）执行无损光学测量。它结合了自动化操作，以便能够快速准确地检查和测量各种晶圆配置。KLA 10-02000设计用于增强透硅（TSV）检测,以及晶片到晶片,以及用于提高产量的晶片到晶片的比较。它有一个可重复的过程,可在以后识别任何缺陷或缺陷,并有助于确保过程的完整性和可追踪性。机器还有一个最先进的隔振表，允许精确的晶圆放置和计量精度。此外，温度控制阶段确保了所有温度敏感测量的卓越重复性。它以强大的图像采集和分析工具给人留下深刻印象,该工具支持对平面和倾斜的、通过硅的结构进行全面的前后检查。它包括一个多光谱电荷耦合器件（CCD）相机，以及先进的光学和数字图像处理。TENCOR 10-02000提供了多功能性和很少的维护,而且每次都提供一致的结果。低成本和不到1%的停机时间使其成为任何生产线的绝佳工具。它还能够同时执行多达三个进程，并且可以打印晶圆映射来检查晶圆完整性，包括互连厚度和均匀性。10-02000为晶圆测试和计量提供了无与伦比的性能和多功能性。通过结合先进的成像、分析和晶片工艺监控技术，资产可以以速度和精度检测、测量和分析任何类型的晶片。它用途广泛,非常适合各种晶圆测试需求,而其可靠的性能和较低的维护成本使其成为任何生产线的经济高效解决方桉。