二手 KLA / TENCOR 1010 #9277070 待售

KLA / TENCOR 1010
ID: 9277070
Resistivity mapping system.
KLA/TENCOR 1010是一种晶圆测试和计量设备,旨在支持半导体行业的研究级表征和大批量生产。该系统围绕一个直观的用户界面构建,允许操作员快速配置、执行和分析各种用于晶圆测试的计量算法。KLA 1010单元旨在满足半导体制造工艺的苛刻需求。它具有先进的光学技术来控制测试中使用的光的特性,以及先进的算法套件来快速准确地从测试晶片中捕获测量结果。该机器同时处理透射和反射样本,使其能够捕获广泛的计量数据。该工具的高级光学器件由激光干涉仪组成,用于制作晶圆的高度详细的3D图像。光学配置创建了一个高分辨率焦平面,使资产能够捕获比传统晶圆测试方法高20倍的数据点。TENCOR 1010提供了广泛的测量和映射功能。这包括特征检测、污染检测、层厚度分析和平坦度分析。它有一个健壮的算法套件,可以同时测量晶圆的几层。此外,该模型还可以测量多层的平坦度,并识别过程引起的缺陷,如微划痕和针孔。KLA高级软件套件还提供数据可视化功能,使操作员可以随时间比较测试结果。该设备配有用于比较晶圆测试数据的高级分析工具以及可在潜在问题造成进一步损害之前识别潜在问题的预测分析。该系统还提供了广泛的可追踪性能力,有助于确保质量和监管标准得到满足。总体而言,1010是为满足半导体行业需求而设计的先进单元。该机器具有强大的光学性能和先进的算法套件,为研究级别的表征提供了必要的灵活性和准确性,并为生产级别的测量提供了可靠的长期数据。因此,它是寻求全面晶圆测试解决方桉的半导体制造商的理想工具。
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