二手 KLA / TENCOR 1050 #9151487 待售

KLA/TENCOR 1050是一种晶圆测试和计量设备，用于检查和分析半导体制造工艺。该系统对光掩模缺陷、薄膜厚度、线宽和微缺陷以及其他半导体特性提供精确、快速的测量。KLA 1050配备了多项功能，使其非常适合大容量半导体生产。它具有高分辨率的彩色成像和激光显微镜，能够准确检查晶圆的地形和表面特征。该单元还提供了广泛的测量工具，使检查过程高效可靠。其中包括用于快速准确地测量薄膜厚度、线宽和微缺陷的计量模块。TENCOR 1050利用高分辨率光学显微镜快速成像给定晶片，用于图样和轮廓验证。显微镜的电动级为成像和分析提供了快速精确的x-y-z定位。该机器还采用了专利的"Z-Contrast"成像技术，利用一种称为光电离的工艺来检测晶圆表面的微观特征和缺陷。1050年的晶圆测试工具由KLA FieldView软件驱动，该软件为图像分析提供了用户友好、直观的界面。KLA/TENCOR 1050还有一个集成的计量工具箱，允许自动计算薄膜厚度和其他计量参数。资产还具有收集和保存各种测量数据以供将来分析的能力。总体而言，KLA 1050是晶圆测试和计量的高效且高度精确的模型。它提供了广泛的功能,例如彩色成像、激光显微镜和自动测量工具-能够快速准确地测量半导体特性。TENCOR 1050因此非常适合半导体制造业的大批量生产。