二手 KLA / TENCOR 2.1 Surfscan #9043947 待售

KLA 2.1 Surfscan是为半导体制造而设计的晶圆测试和计量设备。它利用一系列先进技术，如光子发射二极管、激光羽流和其他光学系统，检查半导体晶圆基板。系统设计用于检测晶片表面的缺陷,允许用户识别和解决出现的任何问题。Surfscan 2.1具有坚固耐用的工业级设计,使其能够在恶劣的半导体生产环境中运行。它由一个强大的控制器、多个高分辨率摄像机和光学器件、健壮的运动控制以及复杂的计量算法组成。该设备利用先进的图像分析方法快速扫描晶片并检测预期模式的任何变化。该设备结合了计算机断层扫描、激光羽流和光子发射二极管，可以精确分析纳米尺度的晶圆表面。它配备了检测100 nm范围内的特性的能力，远远超出了其他半导体检测系统的能力。该机器能够快速评估各种不同的晶片条件，如沉积质量、表面粗糙度和电阻率。它具有全面的缺陷分类能力，可以对晶圆完整性进行高级评估。它还可以对正面和负面的缺陷进行自动测量，从而减少手工评估的需要。此外,Surfscan 2.1还可以与其他系统集成,例如生产控制器、机械臂和视觉系统,以实现全面的工具控制。这样,无需任何手动干预即可实现全自动测试和缺陷检测。此外,它还具有直观的用户界面,便于操作和自动分析。总体而言，TENCOR Surfscan 2.1是一种先进的晶圆测试和计量资产，旨在精确检查半导体晶圆。它设计了一个强大的设计和先进的计量算法，以获得高度准确的结果。凭借其先进的缺陷检测能力和与其他系统的集成，它为半导体制造中的质量控制提供了先进的解决方桉。