二手 KLA / TENCOR 2.1 Surfscan #9239243 待售

KLA 2.1 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备，用于关键半导体器件结构的高级监控和批量诊断。它是检测和表征半导体晶片缺陷的最高分辨率计量解决方桉之一。该系统建立在一个专有的表面技术引擎上，并利用先进的算法进行缺陷检测，从而产生高精度的性能。它使用户能够准确分析各种测量,如临界尺寸、图像、表面粗糙度、集成设备特征和局部曲面映射。它支持用于测量复杂设备和特征的各种应用,包括3D表面检查和晶圆探测,以提高制造产量和可靠性。该单元直观的用户界面易于使用，允许用户快速设计、控制和执行测量序列。它还使用户能够自定义分析参数，以优化其探测器的性能和准确性。Surfscan支持可选成像技术，以适应特定地点的工艺要求，包括直接成像、傅立叶变换红外（FTIR）、X射线成像和边缘发射显微镜（EEM）。此外,该机器还提供具有深层紫外线功能的成像,使用户能够检测到纳米级缺陷,而这些缺陷在其他方面很难用传统光学技术进行测量。它还采用了适合在线或现场计量的先进非接触式测量技术，无需人工测量。该工具支持一系列行业标准数据格式,以便与现有数据系统无缝集成。它配备了一个集成的报告生成器和一整套图像采集和分析工具，用于详细的测量和数据分析。总体而言，TENCOR 2.1 Surfscan是快速、准确和可靠的晶圆测量和计量的理想资产。它提供了最高水平的准确性、速度和灵活性,使其成为半导体器件以及工艺表征和缺陷诊断的完美解决方桉。