二手 KLA / TENCOR 2915 #9168923 待售
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ID: 9168923
晶圆大小: 12"
优质的: 2012
Inspection system, 12"
2900 Ducting DFIHS
PHOENIX v2.0 VQ line
45 kVA 25 Cassette HH
12" SW
DSH 065
Haze
Shiny 2915 IDA rack
E84 Error recovery suite
Dual E84 RGV & OHT, PHX, DFIK
SHHKO E87 / E39
E90 K40 / K94 GEM / SECS
HSHS 2 Onron VG40 V3 CID
PHX SHHKO Safety skirt
DFIHS, PHX OHT, E-stop and lockout, DF
PHX Dual loadport info pad kit
G4 FIHS Ionization remote blower conversion kit
Blower cable: 290X/1X (50ft) 20m
Main power cable: 290X/1X
2900 Logic and memory inspection modes
Optics available: 0.05, 0.065, 0.08, 0.09, 0.12, 0.16, 0.2, 0.22
Exposure modes:
Blue band
Broad band
UV Deep band
UV Middle band
UV Ultra broad band
Ultra deep band
GH I Line
G Line
HI Line
I Line VIS
2012 vintage.
KLA/TENCOR 2915是为生产高性能半导体器件而设计的自动化晶圆测试和计量设备。它为业界最先进的光刻设备提供完整的数字测试和计量功能。该系统是一个全数字化、自动化和白光扫描计量平台，能够对半导体晶片上的小特征进行极其精确的测量。该单元采用先进的光学成像机，以纳米精度精确测量小尺度特征。它最多可测量10,000个晶圆参数,包括：线宽、临界尺寸（CD）、边缘偏差和晶圆表面的平坦度。该工具包括两个模块：ADC（模数转换器）和计量模块。ADC模块将模拟信息转换为数字数据；计量模块获取晶圆曲面的图像，然后对其进行精确分析。该资产提供高速数据采集，可以自动检测和识别晶圆上的特征。该模型建立在可靠的软件平台上，提供卓越的数据管理工具和用户友好的图形用户界面。它还具有多种软件模块，旨在分析数据并以易于理解的格式呈现。该设备旨在充分利用现有的行业标准,如SEMI和ISO标准。它与业界最先进的半导体制造工具和设备完全兼容。它还具有简单的升级路径,使用户能够根据需要轻松扩展系统的功能。KLA 2915提供了广泛的功能和优势来支持高科技产业。它使用户能够快速高效地获取和分析极其准确的数据。设计方便操作，维护最少，提供高质量的测试和计量结果。此外,其出色的软件平台确保了与业界其他设备的兼容性。TENCOR 2915单元旨在为晶圆测试和计量要求提供完整且高度可靠的解决方桉。其先进的光学成像、高速数据采集和直观的软件使其成为任何半导体生产线的理想选择。
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