二手 KLA / TENCOR 365 UV #9353977 待售
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ID: 9353977
优质的: 2000
Defect inspection system
INTERNOVA ICLS-RTX Mask aligner
SMIF
Main body:
MLS
Robot arm
Robot and controller
Stage
COHERENT i-Line laser
He Ne Laser
Optic module
Board
Facilities module:
Heater exchanger
COHERENT i-Line laser controller
Power supply
With KLA 60 (KLA 50):
Board
PC Monitor
Board power supply
IC Board
2000 vintage.
KLA/TENCOR 365 UV是一种最先进的晶圆测试和计量设备，设计用于分析各种半导体器件和纳米结构。该系统采用高分辨率、四向运动的先进光学显微镜，能够提供微电子元件的纳米级成像。它将多个探测器（探针、UV光电倍增器和成像）集成到光学显微镜单元中，可以测量晶片的各种物理、电气和化学性质。此外,它还包括一个专有的自动对焦算法,用于精确聚焦和三维景深控制.这台机器具有业界领先的精确度和灵敏度。它能够以纳米级分辨率进行CD-SEM成像和测量，为用户提供更深入的纳米级制造工艺和潜在缺陷检测。KLA 365 UV拥有广泛的自动化参数设置，优化用于研发、生产和质量保证设置。TENCOR 365 UV工具采用直观的用户界面构建,允许优化工作流和高效操作。集成了多种工具以最大限度地提高生产效率,包括智能报告功能,以生成符合用户要求的自定义报告。该资产与领先的软件包兼容,并具有一系列数据导出格式,用于无缝整理和共享结果。365 UV除了性能优越外，还提供了健壮、坚固的安全设计。该模型包括安全灯幕和数字I/O保护，以确保所有用户免受危险辐射和触电危险。此外,KLA/TENCOR 365 UV完全符合ISO和TUV标准,并通过了几项严格的安全测试。KLA 365 UV是一种极高通量的晶圆测试和计量设备，为用户提供最准确的结果和最高的安全程度。这一通用系统允许对所有类型的半导体器件和纳米结构进行快速、轻松的分析，以确保能够生产出质量最高、最可靠的器件。
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