二手 KLA / TENCOR 4500 / 5500 SURFSCAN #9105698 待售
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ID: 9105698
晶圆大小: 6" - 8"
Particle inspection systems, 6" - 8"
4500: up to 6" at .21 micron
5500: up to 8" at .20 micron.
KLA/TENCOR 4500/5500 SURFSCAN是一种最先进的晶圆测试和计量设备,为分析电气、光学和化学参数提供业界领先的精度和分辨率。用于检测和监控半导体晶片、薄膜基板、掩模和光掩模上的缺陷。KLA 4500/5500 SURFSCAN系统在各种测试和计量过程中提供了强大的应用程序,包括自动晶圆映射、缺陷检测、深入分析以及缺陷审查和分类。该设备可以配置有光学、电气或化学测试选项,以便在一系列应用程序中提供通用性能。TENCOR 4500/5500 SURFSCAN机的高端光学测试设备采用先进的算法来检测晶圆的整个表面,检测比市场上任何其他技术都更精细的缺陷和特征。此外,它还提供了一种电气测试工具,其中包含各种用于测量有源结构的电特性的探针。资产还可用于高级计量目的,如扫描和成像晶圆的表面特征。此外,4500/5500 SURFSCAN模型提供了许多有助于缺陷审查和特征分析的功能和工具。例如,扫描和审阅模块提供缩放功能,使用户能够检查到像素级别的特征。此外,该设备能够自动生成缺陷报告和分析,以便对晶圆进行详细的数据分析和比较。KLA/TENCOR 4500/5500 SURFSCAN提供了优化晶圆设计、提高制造产量、提供快速、全面检测能力的尖端技术。KLA 4500/5500 SURFSCAN具有强大的性能和先进的功能,是高级晶圆测试和计量应用的理想选择。
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