二手 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #293603502 待售
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KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN是一种用于半导体工业的晶圆测试和计量设备。它旨在以高精度和灵敏度测量半导体晶片上的特征,从而对制造过程进行监控和质量控制。它还具有缺陷检测能力,可用于工艺开发和标线鉴定。KLA 4500 SURFSCAN系统使用明亮光源、线性电动级、激光干涉级和CCD摄像机快速准确地获取数据。该单元设计用于测量两或四英寸半导体晶圆。它能够测量晶圆厚度、总基板平整度和特征尺寸。在工艺开发和标线鉴定方面,该机专门测量晶圆上的各种电子束图样。激光干涉级为该工具提供了高分辨率计量所需的更高精度和更高的稳定性。舞台的运动由直线电动机驱动,允许快速精确的运动控制。CCD相机具有高分辨率,能够获取动态范围更大的图像数据,从而能够检测晶圆上非常微弱的特征。该资产还具有先进的板载微处理器。这使模型能够自动执行晶圆测试和计量。它配备了用户友好的图形用户界面,带有直观的控件和可定制的测量。TENCOR 4500 SURFSCAN是一种高效、精确的晶圆测试和计量工具。其先进的特性和高精度使其能够为世界领先的半导体制造商提供可靠的质量控制解决方桉。它是业界的宝贵资产,现在已成为制造环境的标准组成部分。
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