二手 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #293605541 待售

ID: 293605541
优质的: 1987
Wafer inspection system 1987 vintage.
KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN是一种晶圆测试和计量设备,非常适合在半导体织物和其他晶圆密集型环境中使用。该系统为表面形态分析和薄膜厚度测量提供了独特的功能,使工艺工程师和产量管理人员能够快速准确地了解其产品质量。基于非常成功的4500平台的KLA 4500 SURFSCAN提供了一个无损光学表面测量单元,专门设计用于表征测试晶片的整个表面。本机测量表面轮廓及步高、粗糙度、弓形、扭曲等参数,深度分辨率优于1纳米。该工具还能够在光刻胶和金属以及氧化物和氮化物上测量高达400 nm的薄膜厚度。TENCOR 4500 SURFSCAN设计为高度用户友好,具有专用的操作和质量保证模式。用户控制软件与晶圆计量资产的无缝集成,在不牺牲准确性和性能的前提下简化了操作。它提供了各种各样的用户反馈选项,以帮助实时优化流程参数。这包括实时SPC趋势数据和视觉效果、晶圆测量和自动化过程算法。除了该型号的性能外,还设计了4500 SURFSCAN,以实现最佳的可靠性和可重复性。该设备具有耐温耐振性能,具有较强的长期性能设计。它还提供主动监控和诊断以防止任何晶圆测量错误,并有内置的校准程序以保证准确性。KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN是一款功能强大的系统,它结合了出色的设计精度、准确性和可靠性。流程工程师和生产管理人员可以使用直观的界面,快速准确地了解其产品质量。此单元是任何晶圆密集场景的完美解决方桉,可提供高性能、可靠的结果以及经济高效的方法来优化过程参数并获得产品质量洞察力。
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