二手 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #293627875 待售

KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN是一种针对半导体制造商的精密计量和晶圆测试设备。它用于测量、分析和评估生产晶片的厚度、表面平坦度和步高等关键尺寸。该系统旨在向操作员和工程师提供实时反馈，以保持晶圆质量并确保严格的过程控制。KLA 4500 SURFSCAN使用先进的显微镜技术对表面进行高分辨率3D分析。它利用压电扫描仪快速准确定位，以及明亮的白色光源照射样品。这样可以在测量和评估样品特征时实现亚纳米分辨率。该单元能够检测和测量小至200 nm的特征。TENCOR 4500 SURFSCAN能够生成几种不同类型的晶圆图和地形数据。其中包括显示整个样本曲面的基本映射,以及更精细的不规则性和3D曲面轮廓的详细映射。这使得查找和识别风险或关注度最高的区域变得容易。该机器还配备了一系列统计分析工具，使用户能够快速生成数据，如CD统计数据、自动聚焦绑定和晶圆级地图。此数据可用于将晶片与一组CD均匀性规范进行比较并识别异常值。4500 SURFSCAN工具能够保存和导出数据以进行进一步分析或质量控制。该资产还可用于在满足外部参数（如某个功能超过某个阈值）时生成实时"警报"。这提供了近乎实时的反馈,允许制造商在必要时立即采取纠正措施。综上所述，KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN是一种功能强大的工具，可以用来以极高的精度测量和检查晶片，以确保严密的过程控制和晶片质量。该模型能够生成详细的数据集、映射特征和异常,以及将数据导出到第三方分析工具或质量控制系统。