二手 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #293824952 待售

KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN是一种先进的晶圆测试和计量设备。适用于高精度、高通量的薄膜厚度、晶圆地形和其他关键几何参数的测量。该系统包含一个扫描电子显微镜（SEM）和一个集成椭圆仪，允许同时测量所有临界晶圆表面参数。集成软件包支持高级计量功能,使用户能够快速准确地分析数据并识别薄膜不连续性和颗粒污染。KLA 4500 SURFSCAN扫描速度快，测量范围广，适合各种晶圆测试应用。该设备利用先进的12位电荷耦合器件（CCD）相机进行高分辨率成像和分析,以及适用于特定应用的各种附件。机器可以测量各种晶圆参数，包括晶圆拓扑、氧化物厚度、蚀刻深度等关键几何形状。集成软件包使用户能够轻松评估层曲面的对称和均匀性，并提供信息的图形显示。该工具还具有内置的粒子分析器软件包,用户可以快速分析进入的晶片是否存在颗粒污染。集成粒子跟踪软件能够检测尺寸小至1微米的粒子。粒子分析包包括图像存储和高级模式识别算法，以减少粒子误报。TENCOR 4500 SURFSCAN是一种用于表征临界晶片参数的优秀计量和成像工具。它专为高级计量应用而设计,例如瞬态和不变结构的超高分辨率3D成像。4500 SURFSCAN可以测量表面地形和晶圆厚度等参数，使用户能够对晶圆状态进行快速准确的评估。集成的粒子分析包有助于确保晶圆测试的最高精度和产量。