二手 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #69242 待售

KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN是一种晶圆测试和计量设备，提供一流的检验和计量性能能力。该系统将高速阵列晶片检查和缺陷审查、特征3 D测量、形状测量和轮廓映射以及在线审查结合在一个单元中。KLA 4500 SURFSCAN建立在最先进的多任务、多线程体系结构上。4500机器为优化晶圆质量控制提供了更强的性能。它在前端加载和卸载方面都实现了真正的自动化,从而实现了可重复的准确性和更高的吞吐量。该工具还为计量提供了可重复的自动化性能,确保了一致性的可重复精度。TENCOR 4500 SURFSCAN利用强大的资产体系结构实现高速性能。例如,它可以以高达5.2 MPixels/sec的扫描速率每小时提供多达20个晶圆。高级检查功能允许在狭窄空间、小缺陷、拐角图桉和栅极长度上提供更精细的细节。该模型还通过其复杂的模式匹配功能提供高级模式识别。在计量方面,4500 SURFSCAN具有高速3D测量、轮廓映射形状测量、散射测量和反射法。通过其板载计算机，它可以生成功能齐全的结果，审阅数据，并快速生成报告。KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN采用工业机器人协议（IRP）构建,提供全自动端到端晶圆处理。该设备具有独特的人体工程学设计，方便直观的用户访问。系统直观的软件设计为简单操作提供了易于使用的界面。KLA 4500 SURFSCAN通过一整套面向机器的工具提供自动化的单元操作。自动化工具（如Analyzer Tool Suite、Standards Manager和Defect分析）使用户能够定义关键步骤并减少动手操作时间。该工具还具有安全的工作环境,包括数据存储、备份和恢复。TENCOR 4500 SURFSCAN为最终用户提供了多种优势,例如提高了可靠性、可重复性和吞吐量。其先进的功能使其成为亚微米计量和缺陷审查中高性能质量控制的理想解决方桉。它是晶圆测试和质量控制应用的可靠、全面的资产。