二手 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #9167686 待售

KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN是一种健壮的晶圆测试和计量设备，专为各种先进的半导体工艺应用而设计。强大的工具提供晶圆地形和缺陷检测的高速分析，以提高芯片性能。此自动化系统利用高级分析和成像技术快速识别和表征表面特征,如小参数缺陷、颗粒污染物和粗糙度。KLA 4500 SURFSCAN配备了几种专门的固定式光学器件，可同时对多达四个测试样品进行测试。它具有高动态范围的光学组件,可提供高达25 nm的深度分辨率,并具有宽广的视野,可以快速准确地进行分析。该测试单元非常适合测量晶片的电气、光学和机械性能,以提高可靠性和性能。Surfscan 4500具有自动盘柜控制功能；全自动边缘检测机；包括暮光和相移照明在内的多个入射角；高速、高分辨率成像；自动缺陷大小化；和自动缺陷分类。该软件包还包括包括CD-SEM、WFE-OV、XT、CD-TOPO、AF-MAP、OV-WFE和X-TEEM在内的广泛的分析库,以帮助检测和表征表面和地下缺陷。为了确认缺陷，Surfscan 4500可以连接到多种二次测试系统，包括扫描电子显微镜、原子力显微镜或自动光学检查系统。4500软件还设计用于报告可用于趋势分析的数据,用于高级过程控制。该工具生成的数据也可以链接到以前分析运行的历史数据，以便于监测过程参数的各种变化。Surfscan 4500是一种可靠且耐用的资产,采用模块化结构构建,便于维护和I/O连接。凭借其先进的分析技术和自动化测试能力，这种高效的模型是自动化晶圆测试和计量的重要工具。