二手 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #9229796 待售

KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN
ID: 9229796
晶圆大小: 6"
Unpatterned wafer inspection system, 6".
KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN是一种最先进的晶圆测试和计量设备,旨在为晶圆检测和计量提供最高水平的性能和准确性。KLA 4500 SURFSCAN具有广阔的视野、150 mm、200 mm和300 mm光学器件的组合以及可实现的最高分辨率和最新的高级软件控制功能,是要求最苛刻的表面表征应用程序的理想选择。TENCOR 4500 SURFSCAN的核心是一个大场、高通量光学显微镜(HTOM),旨在提供最高精度和速度水平。该系统具有大视野、150 mm、200 mm和300 mm光学元件的组合以及一系列对比度模式。该单元每次运行可同时捕获15个晶片,并可一次对多个晶片提供强大而准确的表面分析,无需停止和重新定位样品。通过利用最新的先进校准方法,该机能够精确测量从初始校准到4-sigma的高度变化。4500 SURFSCAN还配备了先进的软件控制,旨在充分利用其大视野和令人印象深刻的光学性能。该工具具有直观的用户界面,由强大的图像分析软件提供支持,可快速处理和生成实时结果。此软件允许用户在正常所需时间的一小部分内轻松控制、分析和解释扫描。除了晶圆成像,KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN还提供完整的2D/3D计量功能,包括临界尺寸扫描和迭加测量。这大大简化了复杂的设备制造过程,为用户提供了精确控制关键特征(如线宽、沟槽、宽度和高度)的工具。KLA 4500 SURFSCAN凭借其令人印象深刻的"Smartscan"技术,还提供了进一步增强的功能。这一自动化功能可以快速扫描多个晶片,每个晶片多达四个激光器,方便快速准确地检测微观缺陷。这得到了自动缺陷检测软件的支持,使用户能够快速分析大型晶片样品并识别任何缺陷,使其成为最先进的晶片测试和计量系统之一。总体而言,TENCOR 4500 SURFSCAN提供了无与伦比的性能和准确性级别,使其成为即使是最苛刻的表面表征需求的理想选择。4500 SURFSCAN具有广阔的视野、卓越的光学性能、先进的软件控制和自动化功能,使其能够更快、更轻松地准确分析曲面,提供前所未有的工作效率和可靠性。
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