二手 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #9355439 待售

KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN是一种最先进的晶圆测试和计量设备，用于精确测量晶圆的地形。系统执行三维光学临界维度（CD）测量，并提供监测半导体器件过程变化的能力。KLA 4500 SURFSCAN利用获得专利的傅立叶变换剖面图（FTP）技术,利用基于相对低成本商用介电镜的干涉仪来测量晶圆表面的地形特征。然后,此单元允许对进程运行的开始和结束之间的特征及其差异进行精确的CD测量。TENCOR 4500 SURFSCAN配备了电动XY级等多种设备和工具，用于晶圆的处理和翻译；用于干涉仪"膨胀"（聚焦）物镜运动控制的电动Z级；用于晶圆对准和配准的集成显微镜/ir荧光模式识别模式；干涉仪分束器的电源；以及用于最小接触扫描和采样功能的样品探针。4500 SURFSCAN还为用户提供了多种分析和可视化功能。首先，它能够以几种格式提供包括CD测量在内的详细信息。这是由于它具有实时图像处理功能，可以快速检测过程条件的变化。此外，它还能够提供有关光谱图像变化以及模式强度变化的信息。其次，机器允许用户过滤数据，以便专注于特定的趋势和波动。最后,KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN凭借其自动CD测量功能,能够比以往任何时候都更快速、更准确地提供CD测量,从而使用户能够快速检测到过程问题。总体而言，KLA 4500 SURFSCAN是一种功能强大且高效的工具，用于快速准确地测量半导体器件过程监测的晶片地形。其通用、先进的设计让用户能够准确检测工艺条件的变化，提高晶圆产量，减少工艺废料，最终提高盈利能力。