二手 KLA / TENCOR 4500 SURFSCAN #9363455 待售
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ID: 9363455
Wafer inspection system
Surface contamination: 2"-6"
Detects particles: 0.2µm
Automated cassette to cassette
Haze measurement and seven level haze map
Un-patterned wafers
Repeatability: 1% at Standard deviation
Resolution: 0.2µm
Substrate material: Opaque, polished surface that scatters < 5% incident light
Substrate thickness: 0.3 - 0.75 mm
Substrate size, 3"-6"
Throughput: 150 mm diameter for 30 seconds per load.
KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN是一种先进的晶圆测试和计量工具,设计用于生产级晶圆的检验和表征。凭借其专利技术,KLA 4500 SURFSCAN能够以高吞吐量处理多达5英寸的晶圆测量。它具有足够的刚性和灵活性,可以适应客户的需求,同时仍能提供快速、准确和可靠的结果。TENCOR 4500 SURFSCAN提供了一整套自动化晶圆测试和计量功能。其先进的测试和分析选项包括地形、薄膜厚度、纹理、组成、应力、晶体取向和其他半导体特性等缺陷定义手段。该系统还提供自动特征识别,能够快速检测和分析晶圆表面的异常特征。4500 SURFSCAN使用高度先进的成像技术来捕获恒场和恒力图像,分辨率高达5皮米。利用其强大的图像处理算法,系统甚至可以检测整个晶圆表面的亚微米级特征。这使得晶圆计量能够在流程的所有阶段进行,确保流程的所有步骤都得到准确的监控和测试。此外,KLA/TENCOR 4500 SURFSCAN还配备了功能强大的软件包,使操作员能够分析测量结果。它提供了广泛的可视化、数据处理和统计分析功能,这些功能对于快速和准确的晶圆检查和特性分析至关重要。KLA 4500 SURFSCAN旨在支持半导体制造商寻求无缺陷的生产工艺。作为市场上领先的计量工具之一,它保证了可靠性和准确性,同时仍然尊重客户的成本约束。该系统提供了自动化晶圆计量功能和成本效益的完美融合,使其成为生产级晶圆测试和表征的理想选择。
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