二手 KLA / TENCOR 4500 #293630338 待售

KLA/TENCOR 4500是一种高精度晶圆测试和计量设备，设计用于管理半导体器件制造的先进质量控制和过程监控。该系统利用精度、通用性和速度，对晶圆缺陷、参数性能和工艺均匀性进行了高效、可靠和可重复的分析。KLA 4500由几个组件组成，包括探测站、光头、质量保证解决方桉和测量站。TENCOR 4500探测站用于在扫描过程中访问、测量和采样晶圆上的单个设备。它由一个XY或"定向"级和一个Z轴探针位移机构组成，能够进行精确定位和精确测量。探测站和其他组件之间的连接通过柔性电缆单元提供,而机械臂则用于操纵晶圆和模具位置。光头是4500功能的关键组成部分。它装有各种显微镜物镜，可以放大蚀刻装置、特定的感兴趣区域和整个晶圆。高精度的光学检查可提高缺陷检测、宽度测量和35 μ米精度等。高分辨率、全功能和高清摄像头完成了成像,为用户提供了一系列令人印象深刻的选项可供选择。KLA/TENCOR 4500的质量保证解决方桉可实现缺陷自动检测、缺陷分类、晶圆图像分析和使用算法处理收集的数据。测量站用于后处理扫描数据，能够存储图像，提供统计分析和跟踪性能趋势。这台机器以每小时175个晶圆的吞吐量进行计时,有效地降低了生产线的停机时间并提高了设备质量。它专为提高效率和易用性而设计,具有直观的用户界面、自动化的例行操作和各种自定义选项等功能。结合其可靠性和质量，KLA 4500是现代半导体器件制造的理想晶圆测试和计量工具。