二手 KLA / TENCOR 4500 #293662761 待售

KLA/TENCOR 4500是一种高度先进的晶圆测试和计量设备，设计用于测量半导体晶圆的电气、光学和物理特性。该系统采用了新的KLA高级模式检测单元（APD），它允许更准确和可靠的计量。这台机器配备了自动化的单晶片AFM级，即使在小型结构上也能提供更高分辨率的图像。它还包括扫描电子显微镜和用于化学分析的时间解析光谱，产生高度精确的结果。KLA 4500为晶圆级的电气、光学和物理特性提供了广泛的测量能力，包括临界尺寸计量（CD）、线宽粗糙度（LWR）、迭加计量、薄膜厚度计量、应力和光致发光（PL）测量。所有这些测量都得到高分辨率内置光刻胶扫描仪的支持。该扫描仪还可用于缺陷检查，检测甚至最小的缺陷及其对晶片性能的影响。该工具还拥有用于数据分析和优化的高级软件工具。Advanced Pattern Detection （APD）软件提高了数据分析和控制的准确性和重复性,并缩短了晶圆周期。TENCOR Pattern Inspector软件用于发现和表征缺陷,测量其大小、形状和影响。该资产还设有一个研究模块，可以详细研究绝缘体和半导体等材料的性质。TENCOR 4500有很大的工作区，最多可以一次加载八个晶圆，并且可以测量300毫米以上的晶圆。这款机型因其独有的速度、精度和可重复性组合，非常适合大型生产作业。该设备设计符合最严格的安全环保标准，符合最新的行业标准。4500是一个非常强大的系统,可提供精确的测量、精确的分析和高速数据处理,从而降低成本并最大化性能。凭借其广泛的功能和先进的软件工具，它是详细晶圆测试和计量的完美单元。