二手 KLA / TENCOR 50-0002-03 #199615 待售

KLA/TENCOR 50-0002-03是一种晶圆测试和计量设备，为半导体制造商提供先进的缺陷检测能力。KLA 50-0002-03系统包含包括自动晶片识别、晶片边缘数据收集、光学检查、电气计量、迭加注册以及站点到站点/跨站点比较功能等功能。利用自动晶片识别功能，设备能够准确识别出正确的晶片，并相应生成检测装置。晶片边缘数据收集功能可收集10mm和3mm位置的边缘数据,以实现对齐和聚焦稳定性。光学检测功能提供了三维静态和动态缺陷检测功能,能够检测各种缺陷。电气计量的特点是测量包括薄板电阻、接触电阻、电容和电导在内的广泛的电气参数。此外，该机还可以测量三角洲电阻、泄漏电流、击穿电压以及动态电气测试的阈值。TENCOR 50-0002-03的迭加配准特性允许用户在计量、晶圆处理和曝光过程中测量晶圆对齐和迭加控制。现场/跨地点比较功能允许在制造过程中同时进行缺陷检查和电气测量,并与称为"参考地点"的标准进行比较。用户定义的检查参数（如可接受的缺陷率、尺寸阈值和通过/失败标准）可输入到每个测试的工具中。此外，检查数据可以存储在数据库中进行统计分析。综上所述，50-0002-03是一种晶圆测试和计量资产，具有自动晶圆识别、晶圆边缘数据收集、光学检查、电气计量、迭加注册以及站点到站点/跨站点比较功能。这些功能使用户能够测量和比较各种电气参数、检测和尺寸缺陷,并存储结果以进行统计分析。该模型是寻找先进缺陷检测和计量设备的半导体制造商的理想选择。