二手 KLA / TENCOR 5000 Surfscan #64216 待售

KLA/TENCOR 5000 Surfscan是一种晶圆测试和计量设备，提供快速、精确的图像分析，允许对加工过的晶圆上的设备进行高分辨率检查。该成像系统采用先进的设计，包括电动XY级、CCD摄像机和灵敏照明。该单元获取图像的速度是常规静态系统的七倍，并为缺陷检测和特性鉴定提供了极高的灵敏度。自动化舞台的快速扫描由一台创新的电动控制机器提供动力，高速图像采集使得对晶圆地形的深入分析成为可能。KLA 5000 Surfscan针对计量和过程监控应用进行了优化,能够测量关键结构、缺陷的尺寸和大小,以及基于图像的分类和缺陷隔离。该工具具有高灵敏度和分辨率,分辨率为每像素1微米,不需要次像素分辨率。这样可以进行高度精确的测量,从而能够快速、准确地监测和修复流程变化。该资产配有一整套操作员、分析和测量工具以及图像数据库和统计分析功能。它能够分析各种设备地形数据,如表面寿命和粗糙度,并提供以各种格式显示数据的强大功能。直观易用的用户界面，方便快速准确地执行检查任务。TENCOR 5000 Surfscan拥有业界领先的亚像素精度和缺陷航向,这意味着它可以检查需要高精度的复杂特征的各种模式,如V形凹槽、接触孔、介电层等。此外，先进的可编程计量和分析软件可以对缺陷进行精确的表征。这是专为提高产量、加快工艺开发和减少晶圆损耗而设计的，使5000 Surfscan成为半导体和电子器件制造商理想的晶圆测试和计量模型。