二手 KLA / TENCOR 5000 Surfscan #9284003 待售

KLA/TENCOR 5000 Surfscan是一个先进的晶圆测试和计量平台，设计用于现代半导体加工。它能够提供表面地形的高速测量。该设备提供卓越的测量精度、吞吐量和灵活性,使用户能够在晶圆测试和计量方面实现前所未有的生产力。Surfscan基于高级模块化体系结构构建,用户可以根据自己的特定需求自定义系统。它具有广泛的功能和选项，包括多个测量阶段、各种高级探测器、驱动器和测量算法。这些特性允许测试各种类型的基板，包括硅片、玻璃和陶瓷。该单元配备了干涉测量、共聚焦显微镜、表面轮廓测量等先进测量能力。干涉测量允许精确测量表面地形，而共聚焦显微镜则用于检测阶梯高度和凹陷面积宽度等细微的高度变化。采用表面剖面图法分析晶圆的平整度，并提供高分辨率的结果。该机还配备了高精度步进电机，使基板的高速扫描能够产生表面结构的详细图像。此外,Surfscan还能够测量诸如颗粒、颗粒边缘粗糙度、边缘丘陵和凹槽等缺陷。Surfscan附带的高级软件包设计用于完整的数据可视化和晶圆平整度和缺陷特性分析。它可以检测和测量用户可能感兴趣的各种参数,包括晶圆弓、厚度配准、临界尺寸（CD）映射、缺陷计数、粒径、非均匀性等等。该工具建立在高度可靠的平台上,具有出色的用户友好性。它配备了现代化的用户界面，允许用户快速访问资产的所有特性和功能。此外,该模型易于配置和故障排除。KLA 5000 Surfscan是业界领先的晶圆测试和计量平台,提供高精度测量和卓越的吞吐量。它是可自定义的、功能丰富的,并且在晶圆测试和计量方面提供卓越的性能。