二手 KLA / TENCOR 5000 #6428 待售

KLA/TENCOR 5000是一种晶圆测试和计量设备,它提供一系列技术,以提高生产吞吐量、提高质量控制和提高产量。它是一个集成的自动化晶圆计量系统,能够自动化关键的前端制造过程,如缺陷检查、审查和分类、关键尺寸测量和晶圆上测量。KLA 5000单元拥有一套集成工具,可自动控制设备测量的不同阶段。机器的主要部件包括：电荷耦合器件 （CCD）用于晶片成像，带有6轴机动臂的螺旋桨用于自动晶片探测，带有触摸屏界面的计量控制器，用于缺陷检测和分类的视觉库，用于尺寸测量的激光干涉仪，用于温度、湿度和压力控制的环境室，以及用于精确成像的热显微镜室。该工具旨在处理各种材料和工艺，包括低k电介质膜、高级包装基板、MEMS设备、纳米结构材料和应变基板。此外，资产的每一部分都被设计成数字化的，使得能够在不同地点之间传输计量数据，如晶圆晶圆厂、测试实验室或客户站点。这样,客户可以快速轻松地查看、分析和管理其数据。结合先进的缺陷检测、审查和分类技术，TENCOR 5000模型提供了有关设备性能的宝贵知识。这样就可以表征缺陷行为并识别制造过程的变化和弱点。此外，通过结合CDSEM和AFM技术，它能够获得高分辨率成像，从而能够对复杂结构进行准确分析。凭借其一套先进技术和自动化控制,5000设备可以大大提高前端制造工艺的效率和准确性,使客户能够生产高质量的设备,并以更经济高效的方式解决产量限制问题。