二手 KLA / TENCOR 5010 #9083811 待售

KLA/TENCOR 5010是一款功能强大的晶圆测试和计量设备，旨在满足当前和未来半导体制造的需求。该系统提供业界领先的精度、准确性和速度,能够对晶片进行快速、可重复的评估和分析。它配备了一个自动加载单元，使其能够使用高达8英寸的卡带大小，并分析高达每小时50个晶圆。KLA 5010具有先进的计量和晶圆测试能力，包括光学和电气检查，以及缺陷分类和分析。它集成了四个主要组成部分：扫描机、自动晶圆处理、串联过程控制（IPC）模块和集成测量站。扫描工具使用光电成像资产来捕获反射率、透射光、荧光和偏振信息。这与无损测量技术相结合，能够同时分析多种几何形状的多种膜，包括薄膜、厚膜和阶梯膜。晶圆处理模型能够同时进行边缘扫描和随机扫描,从而最大程度地减少失真,同时保持测量的最高精度。它可以配置为处理不同的卡带大小和晶片/磁带类型,包括安装在晶圆环中的卡带、手动或电动有盖卡带以及漏斗板。该设备还支持使用Quantum Interface Pixel Map（QIPM）的数据映射，它允许用户快速准确地定位晶圆上的点和缺陷。IPC模块提供了控制晶片质量的有效手段，适用于前端和后端晶片分选。集成测量站提供自动中心探测、三点和点探针、高精度边缘扫描和进一步分析功能等计量功能。TENCOR 5010是晶圆测试和计量的终极结合，确保了快速、准确和可重复的质量控制过程。该系统满足当今对复杂有效的晶圆测量过程的要求。