二手 KLA / TENCOR 5011 #293616228 待售

KLA / TENCOR 5011
ID: 293616228
Overlay precision measurement system.
KLA/TENCOR 5011是市场上最先进的晶圆测试和计量系统之一。它用于测量半导体晶片上的各种关键特性和电气特性。该设备能够以高精度处理尺寸为8英寸的晶片,非常适合各种行业,包括电信、电力、汽车和LED照明。该系统由两个主要组成部分组成:晶圆检测站和晶圆计量/测试站。晶圆检测站包括显微镜、激光、聚焦和对准以及图像处理能力。该站允许对晶片的表面和结构进行详细的检查和表征。通过拍摄每个晶片的高分辨率图像,设备能够识别出可能影响半导体产品运行的缺陷和其他不规则性。晶圆计量/测试站设有功能强大的光谱仪和一系列自动测试和测量设备。该站允许精确测量晶圆上的各种特性和电性能。这包括测量薄膜厚度等晶片表面的地形,以及片材和接触电阻等电气特性。通过提供物理和电气数据,机器能够准确识别和表征晶圆表面上的过程变化。除了这些功能外,该工具还提供了出色的串联缺陷检测功能。通过利用资产的高级检查和计量功能,客户能够快速识别、分析和纠正晶圆表面上发现的任何缺陷或不规则性。总体而言,KLA 5011是一种高度可靠和通用的晶圆测试和计量模型。通过提供晶片表面的详细分析和表征,以及先进的缺陷检测,此设备成为各行业客户必不可少的工具。
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