二手 KLA / TENCOR 5011 #9226125 待售

KLA/TENCOR 5011是一种高度精确的晶圆测试和计量设备，用于晶圆分析和缺陷发现。这一计量系统利用扫描电子显微镜（SEM）技术和强大的光学成像技术相结合，捕获了整个晶圆表面的高度详细的测量和照片。KLA 5011在单个计量单元中提供完整的晶圆分析和缺陷检测。TENCOR 5011利用专有的晶圆传输机，设计用于通过刀具操纵每一个晶圆表面。这种传输资产设计用于在SEM成像和光学成像系统中精确、精确地传输硅晶片,而不会造成损坏。一旦晶片就位，模型就能进行二维（2D）边缘扫描、三维（3D）成像、非接触式步高、晶片步高和电阻率测量。5011针对高精度和速度进行了优化,允许广泛的晶圆分析和缺陷检测。该设备能够在单个自动化平台中检测和识别诸如位错、工艺变化和颗粒污染等缺陷。此外，该系统还能够通过缺陷、阶段问题、镶嵌线、形态特征、电阻率指纹以及其他各种晶圆特性检测打印。KLA/TENCOR 5011的光学成像元件能够提供极高分辨率的晶圆表面图像。这允许识别否则无法检测到的缺陷和特性。光学成像单元还配置用于检测暗场模式下的缺陷，从而允许清晰的对比度检测。除了晶圆测试和计量功能外，KLA 5011还提供了一套全面的数据分析和排序工具。此功能使用户能够快速轻松地对数据进行排序,以确定检查的优先级、标记缺陷,并通过计算和统计分析确定产量影响。TENCOR 5011是一种强大可靠的机器，能够提供高度准确可靠的晶圆测试和计量结果。此工具的设计目的是在广泛的晶圆尺寸和过程中提供更广泛的覆盖范围,并且能够提供晶圆测试和计量领域中可用的最高精度和最快吞吐量。