二手 KLA / TENCOR 5015 #9003106 待售

KLA/TENCOR 5015是晶圆测试和计量的领先设备。它提供了先进的扫描电子显微镜（SEM）成像技术，用于观察和测量半导体晶片上的器件结构参数。该系统能够捕获极详细的设备结构图像，如桥梁和闸门结构，分辨率高达5纳米。KLA 5015提供多种配置,用于评估不同类型的设备。该腔室可以配置两个或三个电子束端口，使大型样品能够同时进行多束成像和计量。该单元利用获得专利的图像处理算法来精确检测和测量设备特性，在执行测量时允许非常高的吞吐量和出色的重复性。TENCOR 5015配备了高电流光源、自动校准、全机监控以及先进的离轴照明系统，用于产生样品的多个视图。此外,由原位配方控制的晶圆级能够执行自动热测试序列。5015还集成了统计过程控制引擎和一整套软件包,以便为复杂的设备层和结构提供快速、准确的结果。该工具包括完全集成的洁净室过滤器、温度和湿度传感器以及其他功能，以确保环境的清洁度和结果的可重复性。KLA/TENCOR 5015上的终端始终保持在最佳范围内,以实现精确成像。资产的大电流光束源确保可以精确扫描非常细的线条。集成的样品处理系统通过精确的视觉系统和专用的腔室加载使晶片的装卸自动化。该模型的自动化功能可确保最小的工作量和更高的效率。KLA 5015是使用最先进的技术（如多电压成像、产量统计分析、自动缺陷定位和其他新过程）时的出色设备。此外,其广泛的软件包使复杂的成像和计量任务能够快速准确地执行,从而降低了拥有成本。该系统减少了查看图像的需要,并提供了有关所有设备参数的可跟踪数据。此单元是大多数晶圆制造操作的理想选择。