二手 KLA / TENCOR 5015XP #9105783 待售

KLA/TENCOR 5015XP是一种技术先进的晶圆测试和计量设备，旨在提高产量，减少周期时间，增加半导体制造商的成本节约。通过将市场领先的人工智能和高分辨率空中成像相结合，KLA能够准确识别、检查和测量正在处理的晶片上每个单独芯片的特性。该系统在测量每个芯片的形状和尺寸以及检查芯片表面方面设计得非常精确。它配备了直观的人性化界面，因此操作员可以快速轻松地设置测试参数，并即时调整计量参数。该单元还配备了一个专有的分析包，创造下一代边缘检测（NGED），它允许边缘检测分析精确测量。这使得运算符可以在多个点分析晶片，而不仅仅是一个点，每个芯片都在一个单独的层面上进行精确的分析。该机还采用了低噪声、高精度的运动工具，具有低振动的空气轴承设计，允许光滑、精确地定位正在处理的晶片。此外,该资产还利用高速数据采集模型加快了数据收集速度,并利用计量级摄像机捕获了每个单独模具的高分辨率图像。KLA 5015XP允许运算符同时测量各种模具特性，包括边缘定义、模具尺寸、对称性、平整度、圆度、面积、周长和临界尺寸。该设备还与Etch、Diffusion、Lithography和RoundRobin软件无缝集成,从而实现数据的无缝后处理和后期制作对齐。最后，由于维护辅助警报单元，系统高度可靠，如果需要维护，它会实时提醒操作员。这有助于将停机时间保持在最低限度,从而提高生产效率并改善成本节约。