二手 KLA / TENCOR 5100 XP #293629138 待售

KLA/TENCOR 5100 XP是一种先进的晶圆测试和计量设备,采用最新技术设计,在晶圆级分析和测试中提供无与伦比的精度和准确性。KLA 5100 XP具有多功能、高精度的映像平台,并得到集成软件解决方桉的支持,可简化工作负载并加快测试和分析速度。TENCOR 5100XP包括一个高分辨率的标线图样照明（PIT），提供精确的模式识别和验证印刷线组和设备。创新的StackedWells照明技术通过检测测试结构的旋转和倾斜角度的微观变化，进一步提高了分析能力。此外，先进的多层标线（MLR）扫描系统可以以更高的速度和精度扫描大面积。5100XP还提供了快速的高灵敏度检测机制,从而显着提高了测试吞吐量。这使用户能够快速获取受限制的数据并进行快速缺陷分析和识别。此外,该单元还具有全面的计量能力,包括晶圆型识别（WTR）、粒子计数（PC）和图像捕获（IC）。另外还可以通过添加CD-SEM模块来支持晶圆曲率、升程和3维临界尺寸（CD）测量。KLA 5100XP可以加工多种基材，包括硅、玻璃和塑料晶片，以及MEMS变体基材，以确保最佳的计量结果。KLA/TENCOR 5100XP具有庞大的吞吐量容量、直观的接口和自动化系统,因此需要最少的操作员培训,并在生产线环境中提供一致、可重复的性能。此外,它还提供高级机器升级,包括Automated Defect Review软件包和附加的大面积扫描模块。这些附加功能以最低的成本和工作量提高了效率并提高了吞吐量。总体而言,TENCOR 5100 XP是一种先进的晶圆测试和计量工具,可为要求苛刻的应用程序提供可靠的平台。其先进的特性能够快速、准确地分析多种基材，保证行业领先的准确性和可重复性，从而在测试过程的各个阶段实现高效的晶圆级分析。