二手 KLA / TENCOR 5100 XP #293727707 待售
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ID: 293727707
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Overlay measurement system, 8"
Wafer loader system:
Transport system: (2) Cassette loader / unloader
Pre-alignment: OF Detection function
Control console:
Menu terminal
Image display terminal
5501 Analysis station
DEC VLC 4000
RAM: 16 MB
QIC Tape drive: 320/525 MB
Floppy Disk Drive: 3.5"
Image hard copy
Printer
SECS
Patlite
Hard Disk Drive (HDD): 2 GB
Wafer thickness: 725 µm
Minimum die size: 3 mm
Maximum die size: 50 mm
Measurement throughput: <85 Sheets / hour
Clean dry air:
Flow rate: 84.9 l/min
Pressure 603 kg/cm² - 7.7 kg/cm²
Tube, 1/4"
(3) Vacuums:
Hg: 635 mm
Flow rate: 28.3 l/min
Tube, 1/4"
Exhaust:
Duct system: 14.5"
Flow rate: 250 cfm
Missing parts
Temperature: 19°C - 25°C
Power supply: 200 VAC, 20 A, Single phase, 50/60 Hz
1996 vintage.
KLA/TENCOR 5100 XP是一种高度先进的晶圆测试和计量设备，设计用于高端研发实验室。该系统使用先进的光谱技术来测量晶圆的物理性质。该单元提供了光学和电阻率、微观结构、薄膜厚度等参数的精确测量，使研究人员能够优化尖端微电子产品的制造。该机器具有强大的检测工具，能够成像12英寸直径内的晶片，精度和灵敏度为0.1微米。此外,该资产还可以在不到几分钟的时间内快速扫描和分析单个晶片的整个表面,使其成为快速转动过程的理想选择。KLA 5100 XP还具有用于晶圆定位的两个独立的电动级。这些阶段能够同时进行线性和旋转运动，为研究人员提供了在一个会话中检查多个标本的灵活性。这些阶段非常精确，分辨率达到1微米。该模型还具有精密光学显微镜和高性能成像相机。该相机能够捕捉单个表面或其他单个特征的图像,如细线或分辨率高达0.1纳米的切割深度。显微镜为研究人员提供了深入分析样品的能力，提供了可用于进一步优化微电子过程的宝贵信息。TENCOR 5100XP的其他特点包括自动晶片表面检测设备、用于测量晶片集中化的自动偏转数据收集系统以及用于确定粒径和位置的自动粒子测试单元。总之，5100XP是一种先进的晶圆测试和计量机器，旨在满足最苛刻的研发需求。该工具为研究人员提供了快速准确测量晶圆性质的灵活性，使他们能够优化自己的工艺，生产出质量最高的微电子元件。
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