二手 KLA / TENCOR 5100 XP #293727708 待售
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ID: 293727708
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Overlay measurement system, 8"
Wafer loader system:
Transport system: (2) Cassette loader / unloader
Pre-alignment: OF Detection function
Control console:
Menu terminal
Image display terminal
5501 Analysis station
DEC VLC 4000
RAM: 16 MB
QIC Tape drive: 320/525 MB
F.D Drive: 3.5"
Image hard copy
Printer
SECS
Patlite
Hard Disk Drive (HDD): 2 GB
Wafer thickness: 725 µm
Minimum die size: 3 mm
Maximum die size: 50 mm
Measurement throughput: <85 Sheets / hour
Clean dry air:
Flow rate: 84.9 l/min
Pressure 603 kg/cm²-7.7 kg/cm²
Tube, 1/4"
(3) Vacuums:
Hg: 635 mm
Flow rate: 28.3 l/min
Tube, 1/4"
Exhaust:
Duct system: 14.5"
Flow rate: 250 cfm
Temperature: 19°C-25°C
Power supply: 200 VAC, 20 A, Single phase, 50/60 Hz
Missing parts
1996 vintage.
KLA/TENCOR 5100 XP是为半导体制造商设计的最先进的晶圆测试和计量设备。该系统能够对晶片进行高效、准确的测试和探测，以检测缺陷和其他工艺不规则性。该单元具有很大的视野，能够以极高的分辨率快速可视化和检查晶圆表面。利用独特的光学配置,KLA 5100 XP能够捕获和测量高达15 μ m的数据点,从而能够对微观和纳米结构进行深入分析。此外，机器的FPD（条纹图样检测）工具利用先进的信号处理算法来分析微观结构和条纹图样，甚至检测最微妙的结构缺陷。具有广泛的测量功能,包括迭加和ESCp分析、表面形态分析、蚀刻深度、形状和圆度以及跟踪分析。此外,该工具还带有一个可定制的图形操控板,以支持决策。该资产配备了高速晶圆处理模型，能够容纳具有平坦和斜面的晶圆。符合人体工程学的设计使操作高效、轻松，弯曲的观景底座为操作员创造了舒适的工作环境。内置的安全机制排除了易碎晶片的意外断裂。TENCOR 5100XP针对生产和研究环境进行了优化,便于轻松集成到现有流程中。它易于理解的界面和直观的图形命令集允许轻松的操作和数据解释,再加上简化和灵活的工作流功能,使设备非常适合有经验的用户和新手用户。总体而言，KLA 5100XP是一个综合性晶圆测试和计量系统，非常适合满足半导体行业的需求。它以一套高级功能为后盾,提供无与伦比的精确度和可靠性,以提供准确而有价值的信息。
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