二手 KLA / TENCOR 5100 XP #293763497 待售

ID: 293763497
优质的: 1996
Overlay inspection system 1996 vintage.
KLA/TENCOR 5100 XP是结合KLA和TENCOR先进的光学、电气和机械技术,实现高分辨率缺陷检测和精确计量解决方桉的晶圆测试和计量设备。该系统能够对功能尺寸极小的裸晶片和阵列晶片进行准确、可重复和可靠的测试。KLA 5100 XP采用模块化概念设计,能够以极高的精度在不同的测试参数之间快速平稳地转换。TENCOR 5100XP具有超强的光学性能,为缺陷检测和表征提供了卓越的分辨率,并且为最先进的晶圆提供了高精度的3D计量。该单元还具有先进的视觉功能,包括一个板载成像单元,通过一次全自动操作从晶圆的整个表面捕获高分辨率图像,从而使用户能够节省时间并降低成本。KLA/TENCOR 5100XP也具有很高的功能,在预测分析方面非常出色。其高速图像采集算法使得能够在以前系统的一小部分时间内进行自动晶圆检查和计量测量。该机器能够每小时分析多达100,000张图像,从而能够对以前操作人员必须依赖后处理数据的过程进行实时预测分析。KLA 5100XP还提供了多种自动化选项,包括模式识别、图像识别和多站点比较功能,以实现最佳晶圆管理。这有助于确保立即识别所有缺陷并快速恢复,以便在将晶片发送用于获取之前能够对其进行正确处理。5100XP还被设计为高度用户友好,提供具有直观控制和自动设置功能的图形用户界面。它提供简单的导航功能,使用户能够快速访问工具的强大功能,并直观地命令和配置用于晶圆测量、剖分和图像处理的设置。总体而言,5100 XP是一种高级晶圆测试和计量资产,它提供卓越的分辨率、检查和计量功能,以及预测分析、自动化和用户友好的控制。它可以在裸晶片和图桉化晶片上使用,使其成为任何先进半导体设施中的宝贵资产。
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