二手 KLA / TENCOR 5100 XP #9145531 待售

KLA/TENCOR 5100 XP是一款先进的晶片测试和计量设备，设计用于半导体晶片测试、屈服分析以及先进的缺陷和污染控制等广泛应用的最大生产力和吞吐量。KLA 5100 XP包含一个自动化系统，使其能够整合和协调晶圆测试的各个阶段，包括采样、缺陷分析、晶圆映射和计量。它还提供了一个可选的高级计量单元，专门为要求苛刻的半导体应用而设计。TENCOR 5100XP采用了一系列技术，如独特的上下晶圆对准器、激光干涉仪和晶圆检测成像机（WIIS）。此工具用途广泛,能够详细了解缺陷位置、大小和类型。WIIS工具非常灵敏,能够捕获表面和地下缺陷的图像,有助于提高产量并降低生产成本。KLA/TENCOR 5100XP还拥有多种内置的分析工具，如统计缺陷分析、光线边缘粗糙度测量和实时3D晶圆图。KLA 5100XP旨在为操作员提供一系列改进检查和测量精度的功能。它可以配置各种自动晶圆映射和计量软件选项,例如支持软件模块和功能强大的QMet测量。资产还具有高级缺陷检测、分类和分析功能。该模型可以检测单个模具上的多个缺陷并提供每个缺陷的详细分析,从而使制造商能够消除手动缺陷分析的耗时过程。最后,TENCOR 5100 XP具有直观的用户界面,允许用户快速轻松地创建测试设置并轻松查看结果。5100 XP还包括几种自动测量工具，如晶圆探测站、晶圆移动器和其他几种电动仪器。所有这些元素以协调的方式协同工作,以确保最大精度和吞吐量。