二手 KLA / TENCOR 5100 XP #9248760 待售

KLA / TENCOR 5100 XP
ID: 9248760
晶圆大小: 8"
Overlay measurement system, 8".
KLA/TENCOR 5100 XP晶片测试和计量设备是一种用途广泛、功能强大的半导体晶片测量和测试系统。该单元能够测量各种参数,以便准确表征晶片,评估电气性能和可靠性。KLA 5100 XP机包括四个子系统-图像计量、电气测量、缺陷审查和分析。图像计量工具用于扫描晶片和检测颗粒、划痕等表面异常形式的缺陷。该子资产还能够对缺陷进行图像分割、分析和分级。电气测量子模型用于测量和分析电气参数,包括横跨晶圆的电阻和电容。该子设备还提供栅宽、掺杂浓度和晶体管泄漏电流等重要信息。缺陷审查子系统用于监测和审查电气和光学验证结果,从而能够快速识别故障要素和纠正任何问题的战略。该单元还能够对缺陷图像和测试数据进行分类和分析,以产生准确和可重复的结果。最后,使用Analytics子机生成高级分析。该工具可以识别缺陷并深入了解晶圆制造过程的各个方面。它还可以提供晶圆测试和计量数据的统计分析。总之,TENCOR 5100XP晶圆测试和计量资产是一个功能广泛、功能强大的模型,为晶圆测试和计量提供了一系列功能。该设备能够测量各种电气和光学参数,并为跟踪和改进过程提供先进的分析。
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