二手 KLA / TENCOR 5100 #293603393 待售
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ID: 293603393
Overlay inspection system
(2) PZT Sensors 450-451849-00
ALMB PCB 710-404368-00
Main frame
Console
Power stabilizer
Exhaust fan
LAMBDA 284BE-1A-1715 Power supply missing.
KLA/TENCOR 5100是一种晶圆测试和计量设备，为半导体制造提供先进的工艺和器件表征。它是专门为下一代设备的晶圆表征而设计的亚2倍纳米级。该系统利用先进的成像技术来量化一系列半导体过程中的低剂量散射法。这包括用于高对比度检查的光衍射和透射成像，以及用于定位关键缺陷和热点测量的独特的自动对焦光学单元。KLA 5100提供快速扫描速率和自动校准,这两个关键功能可确保准确和可重复的结果。它内置的自动对焦可确保即使将晶片放置在不同深度时图像仍保持对焦,而自动对准例程则使成像机在操作过程中保持正确对准。该工具还具有出色的对准精度和跨多种材料的可重复性,使用户可以轻松操作光学器件并快速调整以适应不同的材料。此外,它还为各种应用提供了一系列采样技术,包括用于高级设备表征的迭加和直接测量。该资产拥有高吞吐量,具有快速的扫描速度、低噪声成像技术以及集成的数据库和分析工具,可确保正确存储和轻松访问数据。此外,它还具有智能接口组件和直观工具,如直观分析软件和可靠的缺陷数据库,以及实时计量分析。该模型的高级机器人功能还通过允许用户快速将设备移动到任何位置来确保准确性,从而减轻手动舞台移动或特征分配的麻烦。TENCOR 5100是寻求最大限度提高工艺和生产能力的半导体制造商的宝贵工具。该系统能够快速、准确地表征晶片，确保高产晶片以最高效率冲击市场。此外,设备的高级功能（如数据存储和分析工具）可确保收集的数据得到无缝存储和准确组织。因此,5100机器是半导体制造的强大工具,为增强质量控制和工艺优化提供了设备特性的基本见解。
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