二手 KLA / TENCOR 5100 #293603716 待售

KLA/TENCOR 5100是一种非接触式光学晶片测试和计量设备。它提供了高精度、高速、精确和全面的设备参数,如临界尺寸、缺陷和迭加目标。该系统设计用于半导体、光子学和MEMS设备。KLA 5100采用电源驱动的触点安装,配有集成的平板显示器和电动平台,使其能够从边缘移动到晶片中心,尺寸可达300 mm。其先进的光学单元能够提供单轴、双轴和三轴成像功能，以及广泛的典型和定制的测量和分析特征。这台机器还配备了多种自动化功能，以提高生产率和优化精度。这些特性包括自动对焦对准、自动缺陷检测、自动对比度优化和扫描策略、自动迭加配准和自动工艺优化。TENCOR 5100的高级计量功能包括成像和测量阵列晶片、设备边缘、设备角和查找失败测试。还提供空气轴承扫描、闭环模式定位测量、嵌入式模具检测等专业技术。高速扫描能力可以提供更高效的吞吐量，而高级算法可以提高晶圆检测性能。5100同样擅长缺陷审查和分析。它能够支持广泛的故障分析选项,包括更改检测、总缺陷映射和分类、缺陷聚类和热点分析。总体而言,KLA/TENCOR 5100为高度精确和可靠的晶圆测试和计量提供了最新功能,使用户能够最大限度地提高产量、提高产品性能和可靠性,并减少浪费和废料。