二手 KLA / TENCOR 5100 #293619673 待售

KLA / TENCOR 5100
ID: 293619673
Overlay inspection system.
KLA/TENCOR 5100是一种下一代晶圆测试和计量设备,为各种晶圆基板提供全方位的计量和测试应用。该系统配备了300毫米负载的机器人单元,能够快速、方便地装卸晶片。该机还能够处理200毫米至300毫米大小的晶圆,可以同时处理生产和研发应用。KLA 5100利用高级刀具控制,可实现高通量的高效操作。该工具旨在满足大容量半导体制造商的需求,旨在提供先进的产量管理和优化。该资产能够测试和测量晶片的各种物理、电气、化学和机械性能,包括曲率、平坦度、应力和厚度等参数。该模型采用了X射线衍射、椭圆偏振和微粘度法等多种无损检测技术。它还使用了包括原子力显微镜、电子束检查和热性质测量在内的一系列其他相对和绝对测试。TENCOR 5100配备了实时成像设备,可提供晶圆的全景测试覆盖和高级图像处理功能。该系统支持一维和二维模式识别。该设备还具有高分辨率的扫描头和扫描室,使用户能够查看分辨率高达5倍的同一区域。该机器旨在利用自动化样品定位、自动化样品处理和自动触觉反馈来提高吞吐量。这样就可以快速测试晶片的快速周转时间。该工具还为高级产量管理启用了多应用程序测试。5100配备了一系列领先的软件应用程序,可提供多平台、多供应商的开发和测试功能。此功能允许用户自定义自己的测试程序并快速分析结果。它还提供各种平台测试数据的无缝集成。资产中使用的所有软件应用程序都与现有硬件和客户端系统兼容,从而确保了快速轻松的自定义。总体而言,KLA/TENCOR 5100是一种先进的晶圆测试和计量模型,为各种晶圆基板提供了一系列的测试和测量能力。它是需要快速准确去除缺陷的大容量半导体制造商的理想工具。该设备能够进行高效的测试和数据分析,从而能够快速报告测试结果。此外,它的高级软件应用程序能够轻松定制和与现有硬件和客户端系统互操作性。
还没有评论