二手 KLA / TENCOR 5100 #293630321 待售
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KLA/TENCOR 5100是一种晶圆测试和计量设备，设计用于测量半导体生产、研发的裸晶圆和图桉化晶圆上的关键器件尺寸。它利用先进的成像技术来捕获样品的表面地形数据，此外还有一系列的光谱技术和高速光学检查以获得晶片内/晶片上的结果。KLA 5100采用无损、无接触的方式运行,采用高分辨率成像技术,可产生准确、可重复的测量结果,同时对材料施加最小压力。该系统提供真正的八英寸孔径扫描，比标准光学显微镜技术具有更大的视野，能够在更少的检查周期内捕获更多数据。其高速光学检测功能有助于加快产品开发,提高产品开发效率。通过分析晶片级和模具级数据，TENCOR 5100提供了晶片材料、特性、缺陷、测试骰子和模具均匀性的快速表征。此外,它的模内计量功能使模具结构的局部表征能够评估功能。该单元配备了专利模式识别引擎，用于自动特征提取和分析。该引擎处理设备或多边形的图像，提取与它们的物理大小、形状和定位相关的各种计量数据。其强大的粒子分析工具支持研究工作，利用先进的异常检测算法检测粒子和其他难以发现的特征。5100可以定制以满足特定的客户需求,支持广泛的示例环境和应用程序。独立式机器非常适合晶片分类、工程、学术和研究实验室。此外,它还可以作为自动化或手动流程的一部分集成到现有生产流程中。KLA/TENCOR 5100的无损、高速成像和数据分析能力相结合，加上其多用途、紧凑的设计，使其成为前沿晶片测试和计量的理想选择。该工具提供了准确、可行的数据,以减少周期时间和降低成本,从而实现了最先进的半导体研究和生产应用。
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