二手 KLA / TENCOR 5100 #293630446 待售
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KLA/TENCOR 5100是为高通量晶圆检验和计量而设计的晶圆测试和计量系统。其卓越的设计和功能可实现更快、更准确的数据收集和分析,同时减少周期时间、吞吐量和成本。KLA 5100利用先进的视觉、自动化和传感技术快速检查和分析晶圆表面。它使用各种成像技术，包括激光辅助扫描、偏振对比度显微镜、3D光学成像和光谱反射成像，来测量晶圆的特征和缺陷。TENCOR 5100具有全方位的高速晶片处理选项，包括自动晶片装载机、卸载机、定向器和分类器。该系统支持多达8种特定用途的工具,并具有用于快速、准确阵列分析的高级数字互相关功能。5100提供快速、精确的计量测量，包括粒数、表面电荷、表面粗糙度、纳米压痕、晶圆映射和表面键合测试。它旨在快速识别和分类具有高重复性的关键缺陷和滑移。该系统的灵活性使用户能够进行各种可定义的操作,例如匹配、分析、排序和进行晶圆测试。KLA/TENCOR 5100的独特功能包括自动过程控制、高级分析、数据收集、晶圆跟踪和过程识别。它为工艺开发、表征和生产提供定性和定量数据。KLA 5100提供了一套全面的数据分析工具,用于快速准确地关联晶圆上的缺陷位置。TENCOR 5100是半导体行业的一个宝贵工具。其先进的技术和用户友好的界面使其成为高通量晶圆检测和计量的可靠、经济高效的解决方桉。它提供了快速、准确的结果以及高水平的吞吐量和灵活性,同时还缩短了周期时间。
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