二手 KLA / TENCOR 5100 #293664945 待售

KLA/TENCOR 5100是一种先进的晶圆测试和计量设备，用于整个电子行业。它使精密晶圆检验和计量具有可靠和可重复的结果。该系统由强大的高分辨率显微镜阶段和多个物理属性评估工具组成，这些工具与自动化和智能化数据分析软件集成在一起。KLA 5100单元具有自动晶圆处理机和垂直场扫描电子显微镜成像工具。自动晶圆处理程序可确保精确、可重复的晶圆定位和定位,并具有微米精度。这一扫描电子显微镜成像资产提供了优越的分辨率，高可重复性，和广阔的视野精确计量晶圆。TENCOR 5100模型的物理性能评估工具包括激光剖面图、静态和动态成像、缺陷监测以及专注于平面测量。激光轮廓测量技术是一种用于对材料表面进行3D轮廓分析和测量的扫描技术,它为地形、厚度、粗糙度、高度和颗粒尺寸分析提供了最高的深度分辨率。静态和动态成像技术为模式识别、缺陷分类和多层晶圆监控提供了额外的图像分析功能，以提高产量并减少故障。缺陷监测功能还使用目标成像来识别和分类缺陷特征,如线路排出和电阻率变化,从而快速准确地进行缺陷表征。将重点放在平面测量上可以对晶片进行精确的厚度或平坦度测量,以进行生产质量控制。可调焦点夹杂物提供了对特征大小和形状的专门测量。它还有一个存储成像和计量组件收集的数据的内存管理设备。集成在5100系统中的高级软件提供了自动化算法，能够以比人工检查更高的速度和准确性分析图像和属性。它还提供了针对晶圆测量应用程序优化的直观用户界面,并具有强大的实时分析功能和数据可视化工具。该集成软件套件设计用于高效的数据分析、半自动优化过程参数以及基于配方的工艺配方优化。综上所述，KLA/TENCOR 5100是一个先进的晶圆测试和计量单元，提供精确的晶圆检测和计量，并具有可靠和可重复的结果。凭借其强大的高分辨率显微镜阶段、多种物理属性评估工具以及集成的软件套件，它为快速准确的缺陷表征、地形评估、生产质量控制和配方优化提供了先进的功能。